Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/80711
Название: | Study of the surface profiling of silicon based on the method of local anodic oxidation using scanning probe microscopy |
Авторы: | Polyakova, V. V. Kots, I. N. Smirnov, V. A. Ageev, O. A. |
Дата публикации: | 2018 |
Издатель: | Ural Federal University |
Библиографическое описание: | Study of the surface profiling of silicon based on the method of local anodic oxidation using scanning probe microscopy / V. V. Polyakova, I. N. Kots, V. A. Smirnov, O. A. Ageev // Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference (Ekaterinburg, August 25-28, 2019). — Ekaterinburg, Ural Federal University, 2018. — p. 183-184. |
URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/80711 |
Конференция/семинар: | International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Workshop "Modern Nanotechnologies" ; International Youth Conference "Functional Imaging of Nanomaterials" |
Дата конференции/семинара: | 26.08.2018-29.08.2018 |
ISBN: | 978-5-9500624-1-4 |
Источники: | International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Workshop "Modern Nanotechnologies" ; International Youth Conference "Functional Imaging of Nanomaterials". — Ekaterinburg, 2018 |
Располагается в коллекциях: | Scanning Probe Microscopy |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
978-5-9500624-1-4_2018_132.pdf | 380,45 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.