Study of the surface profiling of silicon based on the method of local anodic oxidation using scanning probe microscopy

Polyakova, V. V.; Kots, I. N.; Smirnov, V. A.; Ageev, O. A.

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/80711

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Polyakova, V. V.	en
dc.contributor.author	Kots, I. N.	en
dc.contributor.author	Smirnov, V. A.	en
dc.contributor.author	Ageev, O. A.	en
dc.date.accessioned	2020-03-24T06:59:24Z	-
dc.date.available	2020-03-24T06:59:24Z	-
dc.date.issued	2018	-
dc.identifier.citation	Study of the surface profiling of silicon based on the method of local anodic oxidation using scanning probe microscopy / V. V. Polyakova, I. N. Kots, V. A. Smirnov, O. A. Ageev // Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference (Ekaterinburg, August 25-28, 2019). — Ekaterinburg, Ural Federal University, 2018. — p. 183-184.	en
dc.identifier.isbn	978-5-9500624-1-4	-
dc.identifier.uri	http://elar.urfu.ru/handle/10995/80711	-
dc.format.mimetype	application/pdf	en
dc.language.iso	en	en
dc.publisher	Ural Federal University	en
dc.relation.ispartof	International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Workshop "Modern Nanotechnologies" ; International Youth Conference "Functional Imaging of Nanomaterials". — Ekaterinburg, 2018	en
dc.title	Study of the surface profiling of silicon based on the method of local anodic oxidation using scanning probe microscopy	en
dc.type	Conference Paper	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/conferenceObject	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion	en
dc.conference.name	International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Workshop "Modern Nanotechnologies" ; International Youth Conference "Functional Imaging of Nanomaterials"	en
dc.conference.date	26.08.2018-29.08.2018	-
local.description.firstpage	183	-
local.description.lastpage	184	-
local.description.order	P-73	-
Располагается в коллекциях:	Scanning Probe Microscopy

Файлы этого ресурса:

Файл	Описание	Размер	Формат
978-5-9500624-1-4_2018_132.pdf		380,45 kB	Adobe PDF	Просмотреть/Открыть

Показать базовое описание ресурса Статистика Google Scholar

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.