Formation of vacuum electronics elements by a combination of methods of focused ion beams and plasma layer etching on SiC

Rezvan, A. A.; Klimin, V. S.; Kots, I. N.

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/79113

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Rezvan, A. A.	en
dc.contributor.author	Klimin, V. S.	en
dc.contributor.author	Kots, I. N.	en
dc.date.accessioned	2019-12-19T12:26:13Z	-
dc.date.available	2019-12-19T12:26:13Z	-
dc.date.issued	2019	-
dc.identifier.citation	Rezvan A. A. Formation of vacuum electronics elements by a combination of methods of focused ion beams and plasma layer etching on SiC / A. A. Rezvan, V. S. Klimin, I. N. Kots // Scanning Probe Microscopy. Russia-China Workshop on Dielectric and Ferroelectric Materials. Abstract Book of Joint International Conference (Ekaterinburg, August 25-28, 2019). — Ekaterinburg, Ural Federal University, 2019. — P. 240.	en
dc.identifier.isbn	978-5-9500624-2-1	-
dc.identifier.uri	http://elar.urfu.ru/handle/10995/79113	-
dc.description.sponsorship	This work was supported by Grant of the President of the Russian Federation No. МК-3512.2019.8 and Southern Federal University (grant VnGr-07/2017-02). The results were obtained using the equipment of the Research and Education Center "Nanotechnologies" of Southern Federal University.	en
dc.format.mimetype	application/pdf	en
dc.language.iso	en	en
dc.publisher	Ural Federal University	en
dc.relation.ispartof	Scanning Probe Microscopy. Russia-China Workshop on Dielectric and Ferroelectric Materials. — Ekaterinburg, 2019	en
dc.title	Formation of vacuum electronics elements by a combination of methods of focused ion beams and plasma layer etching on SiC	en
dc.type	Conference Paper	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/conferenceObject	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion	en
dc.conference.name	3rd International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; 4th Russia-China Workshop on Dielectric and Ferroelectric Materials ; International Youth Conference "Functional Imaging of nanomaterials"	en
dc.conference.date	25.08.2019-28.08.2019	-
local.description.firstpage	240	-
local.description.lastpage	240	-
Располагается в коллекциях:	Scanning Probe Microscopy

Файлы этого ресурса:

Файл	Описание	Размер	Формат
978-5-9500624-2-1_2019_196.pdf		156,71 kB	Adobe PDF	Просмотреть/Открыть

Показать базовое описание ресурса Статистика

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.