Рентгенофлуоресцентный анализ твёрдотельных плёнок и покрытий

Abstract

В обзоре рассмотрены особенности применения рентгенофлуоресцентного метода анализа (РФА) для исследования химического состава и толщины плёнок и покрытий поверхностей. Рассмотрены случаи РФА покрытий поверхностей сложной конфигурации. Обсуждены варианты учёта взаимных влияний элементов и толщины покрытий для разнообразных материалов. Представлены примеры выполнения практического рентгенофлуоресцентного анализа.

This review presents the features of the application of X-ray fluorescence analysis to the study of a chemical composition and thickness of films and surface coatings. The cases of X-ray fluorescence analysis of coating surfaces of complex configurations are considered. The variants of taking into account the matrix effects and coating thickness for various materials are discussed. The examples of performance of conventional XRF analysis are given.