ISSN: 2310-757X
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/26798| Название: | Study of the possibility of reducing the angular errors of circular optical scales fabricated by lift-off photolithography ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗМОЖНОСТИ УМЕНЬШЕНИЯ УГЛОВЫХ ПОГРЕШНОСТЕЙ КРУГОВЫХ ОПТИЧЕСКИХ ШКАЛ, ИЗГОТОВЛЕННЫХ СПОСОБОМ ОБРАТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ |
| Авторы: | Kruchinin, D. Yu. |
| Дата публикации: | 2013 |
| Библиографическое описание: | Kruchinin D. Yu. Study of the possibility of reducing the angular errors of circular optical scales fabricated by lift-off photolithography / D. Yu. Kruchinin // Journal of Optical Technology. — 2013. — Vol. 80. — № 8. — P. 499-501. |
| Аннотация: | This paper discusses the possibilities of reducing the angular errors of circular optical scales fabricated by lift-off photolithography, using photomasks synthesized by means of a CLWS-300 laser image generator. © 2013 Optical Society of America. |
| Ключевые слова: | ANGULAR ERRORS LASER IMAGES ERRORS PHOTOLITHOGRAPHY |
| URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/26798 |
| Идентификатор РИНЦ: | 23334547 |
| Идентификатор SCOPUS: | 84886012916 |
| Идентификатор WOS: | 000327246100007 |
| Идентификатор PURE: | 893007 |
| ISSN: | 1070-9762 |
| DOI: | 10.1364/JOT.80.000499 |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации, проиндексированные в SCOPUS и WoS CC |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| scopus-2013-0032.pdf | 98,36 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.