1. Электронный научный архив УрФУ
  2. 00. Общеуниверситетские коллекции
  3. Научные публикации ученых УрФУ, проиндексированные в SCOPUS и WoS CC
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/26798
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorKruchinin, D. Yu.en
dc.date.accessioned2014-11-18T08:42:53Z-
dc.date.available2014-11-18T08:42:53Z-
dc.date.issued2013-
dc.identifier.citationKruchinin D. Yu. Study of the possibility of reducing the angular errors of circular optical scales fabricated by lift-off photolithography / D. Yu. Kruchinin // Journal of Optical Technology. — 2013. — Vol. 80. — № 8. — P. 499-501.en
dc.identifier.issn1070-9762-
dc.identifier.other1good_DOI
dc.identifier.other5d56ef30-c93b-4adb-898b-2c65d8466f9fpure_uuid
dc.identifier.otherhttp://www.scopus.com/inward/record.url?partnerID=8YFLogxK&scp=84886012916m
dc.identifier.urihttp://elar.urfu.ru/handle/10995/26798-
dc.description.abstractThis paper discusses the possibilities of reducing the angular errors of circular optical scales fabricated by lift-off photolithography, using photomasks synthesized by means of a CLWS-300 laser image generator. © 2013 Optical Society of America.en
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.language.isoruen
dc.sourceJournal of Optical Technology (A Translation of Opticheskii Zhurnal)en
dc.subjectANGULAR ERRORSen
dc.subjectLASER IMAGESen
dc.subjectERRORSen
dc.subjectPHOTOLITHOGRAPHYen
dc.titleStudy of the possibility of reducing the angular errors of circular optical scales fabricated by lift-off photolithographyen
dc.titleИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗМОЖНОСТИ УМЕНЬШЕНИЯ УГЛОВЫХ ПОГРЕШНОСТЕЙ КРУГОВЫХ ОПТИЧЕСКИХ ШКАЛ, ИЗГОТОВЛЕННЫХ СПОСОБОМ ОБРАТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИru
dc.typeArticleen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/articleen
dc.identifier.rsi23334547-
dc.identifier.doi10.1364/JOT.80.000499-
dc.identifier.scopus84886012916-
local.affiliationFirst President of Russia B. N. Yeltsin Ural Federal University, Ekaterinburg, Russian Federationen
local.contributor.employeeКручинин Дмитрий Юрьевичru
local.description.firstpage499-
local.description.lastpage501-
local.issue8-
local.volume80-
dc.identifier.wos000327246100007-
local.contributor.departmentИнститут новых материалов и технологийru
local.identifier.pure893007-
local.identifier.eid2-s2.0-84886012916-
local.identifier.wosWOS:000327246100007-
Располагается в коллекциях:Научные публикации ученых УрФУ, проиндексированные в SCOPUS и WoS CC

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
scopus-2013-0032.pdf98,36 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.