ISSN: 2310-757X
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/104193| Название: | Изменение трибологических свойств поверхности нанокристаллических пленок Al–Si–N после воздействия отжига |
| Другие названия: | Tribology properties changes of nanocrystalline Al–Si–N films after annealing |
| Авторы: | Кузнецова, Т. А. Лапицкая, В. А. Зубарь, Т. И. Чижик, С. А. Углов, В. В. Квасов, Н. Т. Шиманский, В. И. Kuznetsova, T. A. Lapitskaya, V. A. Zubar, T. I. Chizhik, S. A. Uglov, V. V. Kvasov, N. T. Shymanski, V. I. |
| Дата публикации: | 2017 |
| Издатель: | Ural Federal University |
| Библиографическое описание: | Изменение трибологических свойств поверхности нанокристаллических пленок Al–Si–N после воздействия отжига / Т. А. Кузнецова, В. А. Лапицкая, Т. И. Зубарь и др. // Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference (Ekaterinburg, August 27-30, 2017). — Ekaterinburg, Ural Federal University, 2017. — 145-145 p. |
| Аннотация: | Методом АСМ исследованы микроструктура поверхности, шероховатость и коэффициент трения нанокристаллических пленок l–Si–N % в исходном состоянии и после воздействия отжига в вакууме при температурах 600, 800 и 900 °С. The surface microstructure, roughness and coefficient of friction of nanocrystalline Al–Si–N films in the initial state and after annealing in vacuum at of 600, 800 and 900 °C were investigated using AFM. |
| URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/104193 |
| Конференция/семинар: | International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research" |
| Дата конференции/семинара: | 27.08.2017-30.08.2017 |
| ISBN: | 978-5-9500624-0-7 |
| Сведения о поддержке: | Работа выполнена при поддержке ГПНИ «Энергетические системы, процессы и технологии» подпрограммы «Эффективные теплофизические процессы и технологии». |
| Источники: | International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research". — Ekaterinburg, 2017 |
| Располагается в коллекциях: | Scanning Probe Microscopy |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 978-5-9500624-0-7_2017_084.pdf | 343,42 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.