Изменение трибологических свойств поверхности нанокристаллических пленок Al–Si–N после воздействия отжига

Кузнецова, Т. А.; Лапицкая, В. А.; Зубарь, Т. И.; Чижик, С. А.; Углов, В. В.; Квасов, Н. Т.; Шиманский, В. И.; Kuznetsova, T. A.; Lapitskaya, V. A.; Zubar, T. I.; Chizhik, S. A.; Uglov, V. V.; Kvasov, N. T.; Shymanski, V. I.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elar.urfu.ru/handle/10995/104193

Title:	Изменение трибологических свойств поверхности нанокристаллических пленок Al–Si–N после воздействия отжига
Other Titles:	Tribology properties changes of nanocrystalline Al–Si–N films after annealing
Authors:	Кузнецова, Т. А. Лапицкая, В. А. Зубарь, Т. И. Чижик, С. А. Углов, В. В. Квасов, Н. Т. Шиманский, В. И. Kuznetsova, T. A. Lapitskaya, V. A. Zubar, T. I. Chizhik, S. A. Uglov, V. V. Kvasov, N. T. Shymanski, V. I.
Issue Date:	2017
Publisher:	Ural Federal University
Citation:	Изменение трибологических свойств поверхности нанокристаллических пленок Al–Si–N после воздействия отжига / Т. А. Кузнецова, В. А. Лапицкая, Т. И. Зубарь и др. // Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference (Ekaterinburg, August 27-30, 2017). — Ekaterinburg, Ural Federal University, 2017. — 145-145 p.
Abstract:	Методом АСМ исследованы микроструктура поверхности, шероховатость и коэффициент трения нанокристаллических пленок l–Si–N % в исходном состоянии и после воздействия отжига в вакууме при температурах 600, 800 и 900 °С. The surface microstructure, roughness and coefficient of friction of nanocrystalline Al–Si–N films in the initial state and after annealing in vacuum at of 600, 800 and 900 °C were investigated using AFM.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/104193
Conference name:	International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research"
Conference date:	27.08.2017-30.08.2017
ISBN:	978-5-9500624-0-7
Sponsorship:	Работа выполнена при поддержке ГПНИ «Энергетические системы, процессы и технологии» подпрограммы «Эффективные теплофизические процессы и технологии».
Origin:	International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research". — Ekaterinburg, 2017
Appears in Collections:	Scanning Probe Microscopy

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
978-5-9500624-0-7_2017_084.pdf		343,42 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record