Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/104180
Title: Применение АСМ для исследования шероховатости элементов изображающей оптики
Other Titles: Application of AFM for the investigation the roughness of imaging optics elements
Authors: Зорина, М. В.
Пестов, А. Е.
Чхало, Н .И.
Zorina, M. V.
Pestov, A. E.
Chkhalo, N. I.
Issue Date: 2017
Publisher: Ural Federal University
Citation: Зорина М. В. Применение АСМ для исследования шероховатости элементов изображающей оптики / М. В. Зорина, А. Е. Пестов, Н .И. Чхало // Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference (Ekaterinburg, August 27-30, 2017). — Ekaterinburg, Ural Federal University, 2017. — 122 p.
Abstract: Обсуждается специфика применения атомно-силовой микроскопии (АСМ) для измерения шероховатости изображающих оптических элементов. Описывается стенд на основе АСМ для измерения образцов сложной формы с большими латеральными размерами и методика измерений.
The features of the application of atomic force microscopy for measuring the roughness of imaging optical elements are discussed. A stand on the basis of AFM for measuring samples of complex shape with large lateral dimensions and a measurement method is described.
URI: http://elar.urfu.ru/handle/10995/104180
Conference name: International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research"
Conference date: 27.08.2017-30.08.2017
ISBN: 978-5-9500624-0-7
Origin: International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research". — Ekaterinburg, 2017
Appears in Collections:Scanning Probe Microscopy

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
978-5-9500624-0-7_2017_072.pdf416,44 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.