Структурные и оптические свойства тонкопленочного сплава GeSi с наночастицами Ag, полученного последовательно ионной имплантацией и лазерным облучением

Баталов, Р. И.; Нуждин, В. И.; Валеев, В. Ф.; Бизяев, Д. А.; Бухараев, А. А.; Воробьев, В. В.; Осин, Ю. Н.; Ивлев, Г. Д.; Степанов, А. Л.; Batalov, R. I.; Nuzhdin, V. I.; Valeev, V. F.; Bizyaev, D. A.; Bukharaev, A. A.; Voro ’ev, V. V.; Osin, Yu. N.; Ivlev, G. D.; Stepanov, A. L.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/104174

Title:	Структурные и оптические свойства тонкопленочного сплава GeSi с наночастицами Ag, полученного последовательно ионной имплантацией и лазерным облучением
Other Titles:	Structural and optical properties of thin-film GeSi alloy with Ag nanoparticles obtained by ion implantation and laser irradiation
Authors:	Баталов, Р. И. Нуждин, В. И. Валеев, В. Ф. Бизяев, Д. А. Бухараев, А. А. Воробьев, В. В. Осин, Ю. Н. Ивлев, Г. Д. Степанов, А. Л. Batalov, R. I. Nuzhdin, V. I. Valeev, V. F. Bizyaev, D. A. Bukharaev, A. A. Voro ’ev, V. V. Osin, Yu. N. Ivlev, G. D. Stepanov, A. L.
Issue Date:	2017
Publisher:	Ural Federal University
Citation:	Структурные и оптические свойства тонкопленочного сплава GeSi с наночастицами Ag, полученного последовательно ионной имплантацией и лазерным облучением / Р. И. Баталов, В. И. Нуждин, В. Ф. Валеев и др. // Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference (Ekaterinburg, August 27-30, 2017). — Ekaterinburg, Ural Federal University, 2017. — 114-114 p.
Abstract:	В данной работе впервые изучено влияние импульсного лазерного отжига (ИЛО) излучением рубинового лазера на слои монокристаллического Si, имплантированного ионами Ge+и Ag+, с целью создания кристаллического композитного плазмонного материала Ag:GeSi. Изучена трансформация структуры слоя и его оптического отражения в зависимости от режимов отжига. In this work for the first time the effect of pulsed laser annealing by ruby laser radiation to monocrystalline Si layers implanted by Ge+and Ag+ ions in order to produce crystalline composite plasmonic Ag:GeSi material is studied. The transformation of layer structure and its optical reflectance depending on annealing regimes is investigated.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/104174
Conference name:	International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research"
Conference date:	27.08.2017-30.08.2017
ISBN:	978-5-9500624-0-7
Sponsorship:	Работа выполнена при финансовой поддержке РНФ № 17-12-01176.
RSCF project card:	17-12-01176
Origin:	International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research". — Ekaterinburg, 2017
Appears in Collections:	Scanning Probe Microscopy

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
978-5-9500624-0-7_2017_067.pdf		280,22 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record