Микроскопия периодически - структурированных слоев сформированных ионной имплантацией

Abstract

Описан способ получения структурированного композиционного материала на подложке из халькогенидного стекла (GeSe) при имплантации ионами Ag+. Методами СЗМ и СЭМ показано, что в результате на поверхности GeSe образуется дифракционная решетка с периодом ~ 25 мкм и высотой ступенек ~ 170-200 нм.

An idea to create microstructured composite material on a GeSe glass substrate by Ag+ ion implantation is realized. With the use of scanning electron microscopy and atomic-force microscopy it was demonstrated that about creation of the diffraction grating on GeSe glass surface with the period of ~25mkm and ~170-200 nm of a step height.