Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/104138
Title: Разработки в области вакуумного технологического оборудования для лабораторного применения
Other Titles: Developments in the field of vacuum process equipment for laboratories
Authors: Краснобородько, С. Ю.
Krasnoborodko, S. Yu.
Issue Date: 2017
Publisher: Ural Federal University
Citation: Краснобородько С. Ю. Разработки в области вакуумного технологического оборудования для лабораторного применения / С. Ю. Краснобородько // Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference (Ekaterinburg, August 27-30, 2017). — Ekaterinburg, Ural Federal University, 2017. — 59 p.
Abstract: Российская научно-производственная компания ООО «СИТЭК» представляет свои разработки в области нанотехнологий, такие как уникальный сканирующий зондовый микроскоп, вакуумное оборудование для магнетронного распыления металлов, плазмохимического травления и осаждения. ООО «СИТЭК» производит оборудование под брендом AFMHD.
Russian scientific company SITEK LLC presents its developments in nanotechnology area such as advanced scanning probe microscope, vacuum processing equipment for magnetron sputtering of metals, plasma-chemical etching and deposition. SITEK LLC produces nanotechnology equipment under AFMHD brand.
URI: http://elar.urfu.ru/handle/10995/104138
Conference name: International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research"
Conference date: 27.08.2017-30.08.2017
ISBN: 978-5-9500624-0-7
Origin: International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research". — Ekaterinburg, 2017
Appears in Collections:Scanning Probe Microscopy

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
978-5-9500624-0-7_2017_034.pdf386,53 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.