Изготовление дифракционной плоской решетки методом растровой динамической силовой литографии

Меньшикова, Н. Г.; Панова, М. А.; Осипова, Н. А.; Menshikova, N. G.; Panova, М. А.; Osipova, N. A.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/104084

Title:	Изготовление дифракционной плоской решетки методом растровой динамической силовой литографии
Other Titles:	The production of a diffraction grating by the method of raster dynamic force lithography
Authors:	Меньшикова, Н. Г. Панова, М. А. Осипова, Н. А. Menshikova, N. G. Panova, М. А. Osipova, N. A.
Issue Date:	2017
Publisher:	Ural Federal University
Citation:	Меньшикова Н. Г. Изготовление дифракционной плоской решетки методом растровой динамической силовой литографии / Н. Г. Меньшикова, М. А. Панова, Н. А. Осипова // Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference (Ekaterinburg, August 27-30, 2017). — Ekaterinburg, Ural Federal University, 2017. — 234 p.
Abstract:	В работе описывается создание дифракционной решетки методом сканирующей зондовой литографии с помощью прибора NanoEducator, разрешающая способность которого составляет несколько ангстрем. The paper describes the creation of a diffraction grating by the method of scanning probe lithography with the help of the NanoEducator, whose resolving power is several angstroms.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/104084
Conference name:	International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research"
Conference date:	27.08.2017-30.08.2017
ISBN:	978-5-9500624-0-7
Origin:	International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research". — Ekaterinburg, 2017
Appears in Collections:	Scanning Probe Microscopy

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
978-5-9500624-0-7_2017_136.pdf		465,04 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record