Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/104084
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Меньшикова, Н. Г. | ru |
dc.contributor.author | Панова, М. А. | ru |
dc.contributor.author | Осипова, Н. А. | ru |
dc.contributor.author | Menshikova, N. G. | en |
dc.contributor.author | Panova, М. А. | en |
dc.contributor.author | Osipova, N. A. | en |
dc.date.accessioned | 2021-09-20T13:51:28Z | - |
dc.date.available | 2021-09-20T13:51:28Z | - |
dc.date.issued | 2017 | - |
dc.identifier.citation | Меньшикова Н. Г. Изготовление дифракционной плоской решетки методом растровой динамической силовой литографии / Н. Г. Меньшикова, М. А. Панова, Н. А. Осипова // Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference (Ekaterinburg, August 27-30, 2017). — Ekaterinburg, Ural Federal University, 2017. — 234 p. | ru |
dc.identifier.isbn | 978-5-9500624-0-7 | - |
dc.identifier.uri | http://elar.urfu.ru/handle/10995/104084 | - |
dc.description.abstract | В работе описывается создание дифракционной решетки методом сканирующей зондовой литографии с помощью прибора NanoEducator, разрешающая способность которого составляет несколько ангстрем. | ru |
dc.description.abstract | The paper describes the creation of a diffraction grating by the method of scanning probe lithography with the help of the NanoEducator, whose resolving power is several angstroms. | en |
dc.format.mimetype | application/pdf | en |
dc.language.iso | ru | en |
dc.publisher | Ural Federal University | en |
dc.relation.ispartof | International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research". — Ekaterinburg, 2017 | ru |
dc.title | Изготовление дифракционной плоской решетки методом растровой динамической силовой литографии | ru |
dc.title.alternative | The production of a diffraction grating by the method of raster dynamic force lithography | en |
dc.type | Conference Paper | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/conferenceObject | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
dc.conference.name | International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research" | en |
dc.conference.date | 27.08.2017-30.08.2017 | - |
local.description.firstpage | 234 | - |
local.description.lastpage | 235 | - |
local.description.order | P-73 | - |
Располагается в коллекциях: | Scanning Probe Microscopy |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
978-5-9500624-0-7_2017_136.pdf | 465,04 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.