Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/10995/104081
Title: Исследование режимов профилирования наноразмерных структур методами силовой зондовой нанолитографии и плазмохимического травления
Other Titles: Investigation of profiling of nanostructures by scratching probe nanolithography and plasma chemical etching
Authors: Томинов, Р. В.
Смирнов, В. А.
Tominov, R. V.
Smirnov, V. A.
Issue Date: 2017
Publisher: Ural Federal University
Citation: Томинов Р. В. Исследование режимов профилирования наноразмерных структур методами силовой зондовой нанолитографии и плазмохимического травления / Р. В. Томинов, В. А. Смирнов // Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference (Ekaterinburg, August 27-30, 2017). — Ekaterinburg, Ural Federal University, 2017. — 228 p.
Abstract: Представлены результаты экспериментальных исследований режимов профилирования наноструктур методами силовой зондовой литографии и плазмохимического травления. Показано, что применение методов силовой зондовой литографии и плазмохимического травления позволяет профилировать поверхность кремния с характерными размерами 122±17 нм.
This work presents the results of the experimental investigations nanostructure profiling using scratching probe nanolithography and plasma chemical etching. It is shown, combination of these methods allows to profile silicon surface with dimensions 122±17 nm.
URI: http://hdl.handle.net/10995/104081
Conference name: International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research"
Conference date: 27.08.2017-30.08.2017
ISBN: 978-5-9500624-0-7
metadata.dc.description.sponsorship: Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (проекты № 16-32-00069 мол_а, № 16-29-14023 офи_м).
Origin: International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research". — Ekaterinburg, 2017
Appears in Collections:Scanning Probe Microscopy

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
978-5-9500624-0-7_2017_133.pdf479,09 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.