Исследование режимов профилирования наноразмерных структур методами силовой зондовой нанолитографии и плазмохимического травления

Томинов, Р. В.; Смирнов, В. А.; Tominov, R. V.; Smirnov, V. A.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/10995/104081

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Томинов, Р. В.	ru
dc.contributor.author	Смирнов, В. А.	ru
dc.contributor.author	Tominov, R. V.	en
dc.contributor.author	Smirnov, V. A.	en
dc.date.accessioned	2021-09-20T13:51:28Z	-
dc.date.available	2021-09-20T13:51:28Z	-
dc.date.issued	2017	-
dc.identifier.citation	Томинов Р. В. Исследование режимов профилирования наноразмерных структур методами силовой зондовой нанолитографии и плазмохимического травления / Р. В. Томинов, В. А. Смирнов // Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference (Ekaterinburg, August 27-30, 2017). — Ekaterinburg, Ural Federal University, 2017. — 228 p.	ru
dc.identifier.isbn	978-5-9500624-0-7	-
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/10995/104081	-
dc.description.abstract	Представлены результаты экспериментальных исследований режимов профилирования наноструктур методами силовой зондовой литографии и плазмохимического травления. Показано, что применение методов силовой зондовой литографии и плазмохимического травления позволяет профилировать поверхность кремния с характерными размерами 122±17 нм.	ru
dc.description.abstract	This work presents the results of the experimental investigations nanostructure profiling using scratching probe nanolithography and plasma chemical etching. It is shown, combination of these methods allows to profile silicon surface with dimensions 122±17 nm.	en
dc.description.sponsorship	Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (проекты № 16-32-00069 мол_а, № 16-29-14023 офи_м).	ru
dc.format.mimetype	application/pdf	en
dc.language.iso	ru	en
dc.publisher	Ural Federal University	en
dc.relation.ispartof	International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research". — Ekaterinburg, 2017	ru
dc.title	Исследование режимов профилирования наноразмерных структур методами силовой зондовой нанолитографии и плазмохимического травления	ru
dc.title.alternative	Investigation of profiling of nanostructures by scratching probe nanolithography and plasma chemical etching	en
dc.type	Conference Paper	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/conferenceObject	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion	en
dc.conference.name	International Conference "Scanning Probe Microscopy" ; International Youth Conference "Application of Scanning Probe Microscopy in Scientific Research"	en
dc.conference.date	27.08.2017-30.08.2017	-
local.description.firstpage	228	-
local.description.lastpage	229	-
local.description.order	P-70	-
local.fund.rffi	16-32-00069	-
local.fund.rffi	16-29-14023	-
Appears in Collections:	Scanning Probe Microscopy

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
978-5-9500624-0-7_2017_133.pdf		479,09 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record Google Scholar