Теория ионного распыления металла в виде стабильных нейтральных и заряженных кластеров для разработок эффективных источников кластеров и кластерных ионов

Матвеев, В. И.; Капустин, С. Н.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/99166

Title:	Теория ионного распыления металла в виде стабильных нейтральных и заряженных кластеров для разработок эффективных источников кластеров и кластерных ионов
Other Titles:	THE THEORY OF ION SPUTTERING OF METAL IN FORM OF STABLE NEUTRAL AND CHARGED CLUSTERS FOR DEVELOPMENT OF EFFECTIVE SOURCES OF CLUSTERS AND CLUSTER IONS
Authors:	Матвеев, В. И. Капустин, С. Н.
Issue Date:	2016
Publisher:	УрФУ
Citation:	Матвеев В. И. Теория ионного распыления металла в виде стабильных нейтральных и заряженных кластеров для разработок эффективных источников кластеров и кластерных ионов / В. И. Матвеев, С. Н. Капустин // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов III Международной молодежной научной конференции (Екатеринбург, 16–20 мая 2016 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2016. — C. 218-219.
Abstract:	We have developed a theory of sputtering metal in the form of excited neutral and charged clusters and their subsequent fragmentation to a stable state. Our theory is based on simple physical assumptions and is in good agreement with experiment. The result are presented in the form suitable for the use of formulas. As an example of the calculation of the total yields of stable neutral and charged clusters of silver.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/99166
Conference name:	III Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации»
Conference date:	16.05.2016-20.05.2016
Origin:	Физика. Технологии. Инновации (ФТИ-2016). — Екатеринбург, 2016
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
fti_2016_128.pdf		316,4 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record