Теория ионного распыления металла в виде стабильных нейтральных и заряженных кластеров для разработок эффективных источников кластеров и кластерных ионов

Матвеев, В. И.; Капустин, С. Н.

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/99166

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Матвеев, В. И.	ru
dc.contributor.author	Капустин, С. Н.	ru
dc.date.accessioned	2021-06-22T08:08:18Z	-
dc.date.available	2021-06-22T08:08:18Z	-
dc.date.issued	2016	-
dc.identifier.citation	Матвеев В. И. Теория ионного распыления металла в виде стабильных нейтральных и заряженных кластеров для разработок эффективных источников кластеров и кластерных ионов / В. И. Матвеев, С. Н. Капустин // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов III Международной молодежной научной конференции (Екатеринбург, 16–20 мая 2016 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2016. — C. 218-219.	en
dc.identifier.uri	http://elar.urfu.ru/handle/10995/99166	-
dc.description.abstract	We have developed a theory of sputtering metal in the form of excited neutral and charged clusters and their subsequent fragmentation to a stable state. Our theory is based on simple physical assumptions and is in good agreement with experiment. The result are presented in the form suitable for the use of formulas. As an example of the calculation of the total yields of stable neutral and charged clusters of silver.	en
dc.format.mimetype	application/pdf	en
dc.language.iso	ru	en
dc.publisher	УрФУ	ru
dc.relation.ispartof	Физика. Технологии. Инновации (ФТИ-2016). — Екатеринбург, 2016	ru
dc.title	Теория ионного распыления металла в виде стабильных нейтральных и заряженных кластеров для разработок эффективных источников кластеров и кластерных ионов	ru
dc.title.alternative	THE THEORY OF ION SPUTTERING OF METAL IN FORM OF STABLE NEUTRAL AND CHARGED CLUSTERS FOR DEVELOPMENT OF EFFECTIVE SOURCES OF CLUSTERS AND CLUSTER IONS	en
dc.type	Conference Paper	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/conferenceObject	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion	en
dc.conference.name	III Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации»	ru
dc.conference.date	16.05.2016-20.05.2016	-
local.description.firstpage	218	-
local.description.lastpage	219	-
Располагается в коллекциях:	Конференции, семинары

Файлы этого ресурса:

Файл	Описание	Размер	Формат
fti_2016_128.pdf		316,4 kB	Adobe PDF	Просмотреть/Открыть

Показать базовое описание ресурса Статистика

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.