Оценка факторов, влияющих на измерение УЭС материала со кремния монокристаллического

Мехонцева, Г. И.; Гонтарь, Л. А.; Терентьев, Г. И.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/98325

Title:	Оценка факторов, влияющих на измерение УЭС материала со кремния монокристаллического
Other Titles:	EVALUATION OF FACTORS INFLUENCING THE MEASUREMENT OF ELECTRICAL RESISTIVITY OF MATERIAL OF STANDARD SAMPLES OF SILICON SINGLE CRYSTAL
Authors:	Мехонцева, Г. И. Гонтарь, Л. А. Терентьев, Г. И.
Issue Date:	2019
Publisher:	ООО «Издательство учебно-методический центр УПИ»
Citation:	Мехонцева Г. И. Оценка факторов, влияющих на измерение УЭС материала со кремния монокристаллического / Г. И. Мехонцева, Л. А. Гонтарь, Г. И. Терентьев // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов VI Международной молодежной научной конференции, посвященной 70-летию основания Физико-технологического института УрФУ (Екатеринбург, 20–24 мая 2019 г.). — Екатеринбург : ООО «Издательство учебно-методический центр УПИ», 2019. — C. 323-324.
Abstract:	In this paper, the main factors affecting the measurement of the electrical resistivity of the material of standard samples of monocrystalline silicon are estimated, cor-rection factors are selected and appropriate conclusions are drawn.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/98325
Conference name:	VI Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященной 70-летию основания Физико-технологического института УрФУ
Conference date:	20.05.2019-24.05.2019
ISBN:	978-5-8295-0640-7
Origin:	Физика. Технологии. Инновации (ФТИ-2019). — Екатеринбург, 2019
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
978-5-8295-0640-7_2019_180.pdf		200,56 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record