Модуль для высокотемпературного отжига широкозонных материалов в различных газовых средах

Мартемьянов, Н. А.; Угланов, Е. А.; Вохминцев, А. С.; Вайнштейн, И. А.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/98323

Title:	Модуль для высокотемпературного отжига широкозонных материалов в различных газовых средах
Other Titles:	MODULE FOR HIGH-TEMPERATURE ANNEALING OF WIDEGAP MATERIALS IN VARIOUS GASES
Authors:	Мартемьянов, Н. А. Угланов, Е. А. Вохминцев, А. С. Вайнштейн, И. А.
Issue Date:	2019
Publisher:	ООО «Издательство учебно-методический центр УПИ»
Citation:	Модуль для высокотемпературного отжига широкозонных материалов в различных газовых средах / Н. А. Мартемьянов, Е. А. Угланов, А. С. Вохминцев, И. А. Вайнштейн // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов VI Международной молодежной научной конференции, посвященной 70-летию основания Физико-технологического института УрФУ (Екатеринбург, 20–24 мая 2019 г.). — Екатеринбург : ООО «Издательство учебно-методический центр УПИ», 2019. — C. 321-322.
Abstract:	The module is developed for high-temperature annealing of samples in air, in vacuum and in various gaseous environments. The module includes two independent heaters with a maximum temperature of up to 950 º С and up to 1300 º С with the possibility of programmed heating control. For vacuuming and gas supply, the corresponding systems of the module for plasma-chemical deposition and etching of the Nanofab 100 platform are used.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/98323
Conference name:	VI Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященной 70-летию основания Физико-технологического института УрФУ
Conference date:	20.05.2019-24.05.2019
ISBN:	978-5-8295-0640-7
Origin:	Физика. Технологии. Инновации (ФТИ-2019). — Екатеринбург, 2019
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
978-5-8295-0640-7_2019_179.pdf		257,18 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record