Модуль для высокотемпературного отжига широкозонных материалов в различных газовых средах

Мартемьянов, Н. А.; Угланов, Е. А.; Вохминцев, А. С.; Вайнштейн, И. А.

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/98323

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Мартемьянов, Н. А.	ru
dc.contributor.author	Угланов, Е. А.	ru
dc.contributor.author	Вохминцев, А. С.	ru
dc.contributor.author	Вайнштейн, И. А.	ru
dc.date.accessioned	2021-06-10T10:29:02Z	-
dc.date.available	2021-06-10T10:29:02Z	-
dc.date.issued	2019	-
dc.identifier.citation	Модуль для высокотемпературного отжига широкозонных материалов в различных газовых средах / Н. А. Мартемьянов, Е. А. Угланов, А. С. Вохминцев, И. А. Вайнштейн // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов VI Международной молодежной научной конференции, посвященной 70-летию основания Физико-технологического института УрФУ (Екатеринбург, 20–24 мая 2019 г.). — Екатеринбург : ООО «Издательство учебно-методический центр УПИ», 2019. — C. 321-322.	ru
dc.identifier.isbn	978-5-8295-0640-7	-
dc.identifier.uri	http://elar.urfu.ru/handle/10995/98323	-
dc.description.abstract	The module is developed for high-temperature annealing of samples in air, in vacuum and in various gaseous environments. The module includes two independent heaters with a maximum temperature of up to 950 º С and up to 1300 º С with the possibility of programmed heating control. For vacuuming and gas supply, the corresponding systems of the module for plasma-chemical deposition and etching of the Nanofab 100 platform are used.	en
dc.format.mimetype	application/pdf	en
dc.language.iso	ru	en
dc.publisher	ООО «Издательство учебно-методический центр УПИ»	ru
dc.relation.ispartof	Физика. Технологии. Инновации (ФТИ-2019). — Екатеринбург, 2019	ru
dc.title	Модуль для высокотемпературного отжига широкозонных материалов в различных газовых средах	ru
dc.title.alternative	MODULE FOR HIGH-TEMPERATURE ANNEALING OF WIDEGAP MATERIALS IN VARIOUS GASES	en
dc.type	Conference Paper	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/conferenceObject	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion	en
dc.conference.name	VI Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященной 70-летию основания Физико-технологического института УрФУ	ru
dc.conference.date	20.05.2019-24.05.2019	-
local.description.firstpage	321	-
local.description.lastpage	322	-
Располагается в коллекциях:	Конференции, семинары

Файлы этого ресурса:

Файл	Описание	Размер	Формат
978-5-8295-0640-7_2019_179.pdf		257,18 kB	Adobe PDF	Просмотреть/Открыть

Показать базовое описание ресурса Статистика Google Scholar

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.