ISSN: 2310-757X
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/72988| Название: | Simulation of defect zones in scribed silicon wafers |
| Авторы: | Ogorodnikov, Alexey I. Ogorodnikova, Olga M. Tikhonov, Igor N. |
| Дата публикации: | 2010 |
| Издатель: | IOP Publishing |
| Библиографическое описание: | Ogorodnikov Alexey I. Simulation of defect zones in scribed silicon wafers / Alexey I. Ogorodnikov, Olga M. Ogorodnikova, Igor N. Tikhonov // IOP Conference Series-Materials Science And Engineering. — 2010. — Vol. 15. — 012046. — DOI: 10.1088/1757-899X/15/1/012046. |
| URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/72988 |
| Условия доступа: | cc-by |
| Идентификатор WOS: | 000315348600046 |
| DOI: | 10.1088/1757-899X/15/1/012046 |
| Располагается в коллекциях: | Научные публикации ученых УрФУ, проиндексированные в SCOPUS и WoS CC |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 10.1088-1757-899X-15-1-012046.pdf | 682,43 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.