1. Электронный научный архив УрФУ
  2. 00. Общеуниверситетские коллекции
  3. Научные публикации ученых УрФУ, проиндексированные в SCOPUS и WoS CC
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/72988
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorOgorodnikov, Alexey I.en
dc.contributor.authorOgorodnikova, Olga M.en
dc.contributor.authorTikhonov, Igor N.en
dc.date.accessioned2019-06-17T11:33:14Z-
dc.date.available2019-06-17T11:33:14Z-
dc.date.issued2010-
dc.identifier.citationOgorodnikov Alexey I. Simulation of defect zones in scribed silicon wafers / Alexey I. Ogorodnikov, Olga M. Ogorodnikova, Igor N. Tikhonov // IOP Conference Series-Materials Science And Engineering. — 2010. — Vol. 15. — 012046. — DOI: 10.1088/1757-899X/15/1/012046.en
dc.identifier.otherhttp://iopscience.iop.org/article/10.1088/1757-899X/150/1/012013/pdfpdf
dc.identifier.other!!!!!!!!!!good_DOI
dc.identifier.urihttp://elar.urfu.ru/handle/10995/72988-
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.publisherIOP Publishingen
dc.rightscc-byother
dc.sourceIOP Conference Series-Materials Science And Engineeringen
dc.titleSimulation of defect zones in scribed silicon wafersen
dc.typeArticleen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/articleen
dc.identifier.doi10.1088/1757-899X/15/1/012046-
local.volume15-
dc.identifier.wos000315348600046-
local.description.order12046-
local.identifier.wosWOS:000315348600046-
Располагается в коллекциях:Научные публикации ученых УрФУ, проиндексированные в SCOPUS и WoS CC

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
10.1088-1757-899X-15-1-012046.pdf682,43 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.