BN coatings deposition by magnetron sputtering of B and BN targets in electron beam generated plasma

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/72912

Название:	BN coatings deposition by magnetron sputtering of B and BN targets in electron beam generated plasma
Авторы:	Kamenetskikh, A. S. Gavrilov, N. V. Koryakova, O. V. Cholakh, S. O.
Дата публикации:	2017
Издатель:	IOP Publishing
Библиографическое описание:	BN coatings deposition by magnetron sputtering of B and BN targets in electron beam generated plasma / A. S. Kamenetskikh, N. V. Gavrilov, O. V. Koryakova [et al.] // Journal Of Physics Conference Series. — 2017. — Vol. 857. — UNSP 012017. — DOI: 10.1088/1742-6596/857/1/012017.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/72912
Условия доступа:	cc-by
Идентификатор SCOPUS:	85021327746
Идентификатор WOS:	000412709600017
Идентификатор PURE:	1932102
ISSN:	1742-6596 1742-6588
DOI:	10.1088/1742-6596/857/1/012017
Располагается в коллекциях:	Научные публикации ученых УрФУ, проиндексированные в SCOPUS и WoS CC

Файлы этого ресурса:

Файл	Описание	Размер	Формат
10.1088-1742-6596-857-1-012017.pdf		644,81 kB	Adobe PDF	Просмотреть/Открыть

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.