Атомно-эмиссионное определение примесей в трихлорсилане и четырёххлористом кремнии

Шабанова, Е. В.; Джугашвили, А. А.; Васильева, И. Е.; Струневич, С. К.; Пройдакова, О. А.; Shabanova, E. V.; Dzhugashvili, A. A.; Vasilyeva, I. E.; Strunevich, S. K.; Proydakova, O. A.

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/42526

Title:	Атомно-эмиссионное определение примесей в трихлорсилане и четырёххлористом кремнии
Other Titles:	Atomic-emission determination of impurities in trichlorosilane and silicon tetrachloride
Authors:	Шабанова, Е. В. Джугашвили, А. А. Васильева, И. Е. Струневич, С. К. Пройдакова, О. А. Shabanova, E. V. Dzhugashvili, A. A. Vasilyeva, I. E. Strunevich, S. K. Proydakova, O. A.
Issue Date:	2012
Publisher:	Уральский федеральный университет
Citation:	Атомно-эмиссионное определение примесей в трихлорсилане и четырёххлористом кремнии / Е. В. Шабанова, А. А. Джугашвили, И. Е. Васильева [и др.] // Аналитика и контроль. — 2012. — № 1. — С. 14-22.
Abstract:	Рассмотрена аттестованная методика определения в трихлорсилане и четыреххлористом кремнии массовых долей 22 элементов-примесей после их концентрирования на графитовый порошок. Описаны методические приёмы и условия выполнения атомно-эмиссионного анализа концентратов на спектральном оборудовании с фотодиодными линейками МАЭС. Оценены показатели прецизионности (повторяемости и правильности) результатов. Достоинствами разработки является высокая информативность получаемых аналитических данных и экспрессность измерений. The technique of atomic-emission determination of mass content of 22 impurities in trichlorosilane and silicon tetrachloride after their concentration on graphite powder was suggested and certified. The methodical ways and conditions of executing atomic-emission analysis of concentrates by spectral equipments with MAES photodiode arrays were described. Precision (trueness and repeatability) indexes were estimated. The highest informative analytical data obtained and rapidity of determinations are the benefits of this developing.
Keywords:	TRICHLOROSILANE SILICON TETRACHLORIDE IMPURITIES ATOMIC-EMISSION SPECTROMETRY WITH MAES PHOTODIODES ARRAYS ТРИХЛОРСИЛАН КРЕМНИЙ ЧЕТЫРЁХХЛОРИСТЫЙ ПРИМЕСИ АТОМНО-ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОМЕТРИЯ С ФОТОДИОДНЫМИ ЛИНЕЙКАМИ МАЭС
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/42526
ISSN:	2073-1442
Origin:	Аналитика и контроль. 2012. № 1
Appears in Collections:	Аналитика и контроль

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
aik_2012_01_14-22.pdf		487,15 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record