Атомно-эмиссионное определение примесей в трихлорсилане и четырёххлористом кремнии

Шабанова, Е. В.; Джугашвили, А. А.; Васильева, И. Е.; Струневич, С. К.; Пройдакова, О. А.; Shabanova, E. V.; Dzhugashvili, A. A.; Vasilyeva, I. E.; Strunevich, S. K.; Proydakova, O. A.

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/42526

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Шабанова, Е. В.	ru
dc.contributor.author	Джугашвили, А. А.	ru
dc.contributor.author	Васильева, И. Е.	ru
dc.contributor.author	Струневич, С. К.	ru
dc.contributor.author	Пройдакова, О. А.	ru
dc.contributor.author	Shabanova, E. V.	en
dc.contributor.author	Dzhugashvili, A. A.	en
dc.contributor.author	Vasilyeva, I. E.	en
dc.contributor.author	Strunevich, S. K.	en
dc.contributor.author	Proydakova, O. A.	en
dc.date.accessioned	2016-11-20T07:33:10Z	-
dc.date.available	2016-11-20T07:33:10Z	-
dc.date.issued	2012	-
dc.identifier.citation	Атомно-эмиссионное определение примесей в трихлорсилане и четырёххлористом кремнии / Е. В. Шабанова, А. А. Джугашвили, И. Е. Васильева [и др.] // Аналитика и контроль. — 2012. — № 1. — С. 14-22.	ru
dc.identifier.issn	2073-1442	-
dc.identifier.uri	http://elar.urfu.ru/handle/10995/42526	-
dc.description.abstract	Рассмотрена аттестованная методика определения в трихлорсилане и четыреххлористом кремнии массовых долей 22 элементов-примесей после их концентрирования на графитовый порошок. Описаны методические приёмы и условия выполнения атомно-эмиссионного анализа концентратов на спектральном оборудовании с фотодиодными линейками МАЭС. Оценены показатели прецизионности (повторяемости и правильности) результатов. Достоинствами разработки является высокая информативность получаемых аналитических данных и экспрессность измерений.	ru
dc.description.abstract	The technique of atomic-emission determination of mass content of 22 impurities in trichlorosilane and silicon tetrachloride after their concentration on graphite powder was suggested and certified. The methodical ways and conditions of executing atomic-emission analysis of concentrates by spectral equipments with MAES photodiode arrays were described. Precision (trueness and repeatability) indexes were estimated. The highest informative analytical data obtained and rapidity of determinations are the benefits of this developing.	en
dc.format.mimetype	application/pdf	en
dc.language.iso	ru	en
dc.publisher	Уральский федеральный университет	ru
dc.relation.ispartof	Аналитика и контроль. 2012. № 1	ru
dc.subject	TRICHLOROSILANE	en
dc.subject	SILICON TETRACHLORIDE	en
dc.subject	IMPURITIES	en
dc.subject	ATOMIC-EMISSION SPECTROMETRY WITH MAES PHOTODIODES ARRAYS	en
dc.subject	ТРИХЛОРСИЛАН	ru
dc.subject	КРЕМНИЙ ЧЕТЫРЁХХЛОРИСТЫЙ	ru
dc.subject	ПРИМЕСИ	ru
dc.subject	АТОМНО-ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОМЕТРИЯ С ФОТОДИОДНЫМИ ЛИНЕЙКАМИ МАЭС	ru
dc.title	Атомно-эмиссионное определение примесей в трихлорсилане и четырёххлористом кремнии	ru
dc.title.alternative	Atomic-emission determination of impurities in trichlorosilane and silicon tetrachloride	en
dc.type	Article	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/article	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion	en
local.description.firstpage	14	-
local.description.lastpage	22	-
Располагается в коллекциях:	Аналитика и контроль

Файлы этого ресурса:

Файл	Описание	Размер	Формат
aik_2012_01_14-22.pdf		487,15 kB	Adobe PDF	Просмотреть/Открыть

Показать базовое описание ресурса Статистика

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.