Имплантированная ионами олова пленка оксида кремния на кремниевой подложке

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/42099

Title:	Имплантированная ионами олова пленка оксида кремния на кремниевой подложке
Patent Number:	2535244
Authors:	Зацепин, А. Ф. Бунтов, Е. А. Кортов, В. С.
Issue Date:	2014-12-10
Keywords:	PATENT ПАТЕНТ
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/42099
RSCI ID:	37456323
PURE ID:	11073866
Patent Type:	Изобретение
Patent Owner:	Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина"
Appears in Collections:	Патенты и изобретения

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
2535244.pdf		313,79 kB	Adobe PDF	View/Open