Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/42099
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorЗацепин, А. Ф.ru
dc.contributor.authorБунтов, Е. А.ru
dc.contributor.authorКортов, В. С.ru
dc.date.accessioned2016-11-12T14:25:01Z-
dc.date.available2016-11-12T14:25:01Z-
dc.date.issued2014-12-10-
dc.identifier.other2013127976/28applnumber
dc.identifier.other772b8f4b-dbb0-4170-ac43-854501521005pure_uuid
dc.identifier.urihttp://elar.urfu.ru/handle/10995/42099-
dc.language.isoruen
dc.relationhttp://www.fips.ru/Archive/PAT/2014FULL/2014.12.10/DOC/RUNWC1/000/000/002/535/244/document.pdffips
dc.subjectPATENTen
dc.subjectПАТЕНТru
dc.titleИмплантированная ионами олова пленка оксида кремния на кремниевой подложкеru
dc.typePatenten
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/patenten
dc.identifier.rsi37456323-
local.patent.datepriotity2013-06-18-
local.patent.datepriotity2013-06-18appldate
local.patent.journalnumber9397-
local.patent.number2535244-
local.patent.ownerФедеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина"ru
local.patent.ticketnumber2013127976-
local.patent.typeИзобретениеru
local.contributor.departmentФизико-технологический институтru
local.contributor.subdepartmentКафедра физических методов и приборов контроля качестваru
local.patent.countryRUSen
local.identifier.pure11073866-
Располагается в коллекциях:Патенты и изобретения

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
2535244.pdf313,79 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.