ISSN: 2310-757X
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/42099| Название: | Имплантированная ионами олова пленка оксида кремния на кремниевой подложке |
| Номер патента: | 2535244 |
| Авторы: | Зацепин, А. Ф. Бунтов, Е. А. Кортов, В. С. |
| Дата публикации: | 2014-12-10 |
| Ключевые слова: | PATENT ПАТЕНТ |
| URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/42099 |
| Идентификатор РИНЦ: | 37456323 |
| Идентификатор PURE: | 11073866 |
| Вид РИД: | Изобретение |
| Патентообладатель: | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина" |
| Располагается в коллекциях: | Патенты и изобретения |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 2535244.pdf | 313,79 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.