Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/10995/28994
Title: Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : учебное пособие
Authors: Кручинин, Д. Ю.
Фарафонтова, Е. П.
Editors: Дерябин, В. А.
Issue Date: 2014
Publisher: Издательство Уральского университета
Citation: Кручинин Д. Ю. Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : учебное пособие / Д. Ю. Кручинин, Е. П. Фарафонтова ; [науч. ред. В. А. Дерябин]. – Екатеринбург : Изд-во Урал. ун-та, 2014. – 51, [1] с. – ISBN 978-5-7996-1110-1.
Abstract: Изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал. Рассмотрены оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Оптотехника», аспирантов и научных сотрудников, интересующихся фотолитографическими технологиями.
Keywords: УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ
ФОТОЛИТОГРАФИЯ
ОПТИЧЕСКИЕ ДЕТАЛИ
URI: http://hdl.handle.net/10995/28994
ISBN: 978-5-7996-1110-1
Appears in Collections:Учебные материалы

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
978-5-7996-1110-1_2014.pdf992,77 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.