ISSN: 2310-757X
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/28994| Название: | Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : учебное пособие |
| Авторы: | Кручинин, Д. Ю. Фарафонтова, Е. П. |
| Редакторы: | Дерябин, В. А. |
| Дата публикации: | 2014 |
| Издатель: | Издательство Уральского университета |
| Библиографическое описание: | Кручинин Д. Ю. Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : учебное пособие / Д. Ю. Кручинин, Е. П. Фарафонтова ; [науч. ред. В. А. Дерябин]. – Екатеринбург : Изд-во Урал. ун-та, 2014. – 51, [1] с. – ISBN 978-5-7996-1110-1. |
| Аннотация: | Изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал. Рассмотрены оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Оптотехника», аспирантов и научных сотрудников, интересующихся фотолитографическими технологиями. |
| Ключевые слова: | УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ ФОТОЛИТОГРАФИЯ ОПТИЧЕСКИЕ ДЕТАЛИ |
| URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/28994 |
| ISBN: | 978-5-7996-1110-1 |
| Располагается в коллекциях: | Учебные материалы |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 978-5-7996-1110-1_2014.pdf | 992,77 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.