Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : учебное пособие

Кручинин, Д. Ю.; Фарафонтова, Е. П.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/28994

Title:	Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : учебное пособие
Authors:	Кручинин, Д. Ю. Фарафонтова, Е. П.
Editors:	Дерябин, В. А.
Issue Date:	2014
Publisher:	Издательство Уральского университета
Citation:	Кручинин Д. Ю. Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : учебное пособие / Д. Ю. Кручинин, Е. П. Фарафонтова ; [науч. ред. В. А. Дерябин]. – Екатеринбург : Изд-во Урал. ун-та, 2014. – 51, [1] с. – ISBN 978-5-7996-1110-1.
Abstract:	Изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал. Рассмотрены оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Оптотехника», аспирантов и научных сотрудников, интересующихся фотолитографическими технологиями.
Keywords:	УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ ФОТОЛИТОГРАФИЯ ОПТИЧЕСКИЕ ДЕТАЛИ
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/28994
ISBN:	978-5-7996-1110-1
Appears in Collections:	Учебные материалы

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
978-5-7996-1110-1_2014.pdf		992,77 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar