Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : учебное пособие

Кручинин, Д. Ю.; Фарафонтова, Е. П.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/28994

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Кручинин, Д. Ю.	ru
dc.contributor.author	Фарафонтова, Е. П.	ru
dc.contributor.editor	Дерябин, В. А.	ru
dc.date.accessioned	2015-01-26T11:30:23Z	-
dc.date.available	2015-01-26T11:30:23Z	-
dc.date.issued	2014	-
dc.identifier.citation	Кручинин Д. Ю. Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : учебное пособие / Д. Ю. Кручинин, Е. П. Фарафонтова ; [науч. ред. В. А. Дерябин]. – Екатеринбург : Изд-во Урал. ун-та, 2014. – 51, [1] с. – ISBN 978-5-7996-1110-1.	ru
dc.identifier.isbn	978-5-7996-1110-1	-
dc.identifier.uri	http://elar.urfu.ru/handle/10995/28994	-
dc.description.abstract	Изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал. Рассмотрены оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Оптотехника», аспирантов и научных сотрудников, интересующихся фотолитографическими технологиями.	ru
dc.format.mimetype	applictaion/pdf	en
dc.publisher	Издательство Уральского университета	ru
dc.subject	УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ	ru
dc.subject	ФОТОЛИТОГРАФИЯ	ru
dc.subject	ОПТИЧЕСКИЕ ДЕТАЛИ	ru
dc.title	Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : учебное пособие	ru
dc.type	Book	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/book	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion	en
Appears in Collections:	Учебные материалы

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
978-5-7996-1110-1_2014.pdf		992,77 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record Google Scholar