Исследование электропроводимости МДМ-структур методом импедансной спектроскопии : магистерская диссертация

Abstract

The theoretical part presents a literature review about the basis of the impedance spectroscopy method, its main measurement and analysis schemes, as well as the application of the method in the study of memristive structures. In the practical part a virtual device “VI ImpSpec” based on “National Instruments” equipment on I-V method of complex impedance measurement is developed. Approbation of the virtual device on RC-circuits and its application in the study of memristive structures based on Zr/ZrO2/Au is carried out. During approbation assumed structure of equivalent circuits from RC-circuits is confirmed, as well as the presence of inductive components in them. Research methods: optical microscopy, impedance spectroscopy.

В теоретической части представлен литературный обзор основы метода импедансной спектроскопии, его основных схем измерения и анализа, а также применение метода в исследовании мемристивных структур. В практической части разработан виртуальный прибор «VI ImpSpec» на базе оборудования «National Instruments» по I-V методу измерения комплексного сопротивления. Проведена апробация виртуального прибора на RC-цепях и его применение в исследовании мемристивных структур на основе Zr/ZrO2/Au, в ходе которых подтверждается предполагаемая структура эквивалентных схем из RC-цепей, а также наличие индуктивных составляющих в них. Методы исследования: оптическая микроскопия, импедансная спектроскопия.