Исследования механизмов металл-индуцированной кристаллизации субоксида кремния с помощью просвечивающей электронной микроскопии

Batsanov, S. A.; Vdovin, V. I.; Gutakovskii, A. K.; Zamchii, A. O.; Baranov, E. A.; Бацанов, С. А.; Вдовин, В. И.; Гутаковский, А. К.; Замчий, А. О.; Баранов, Е. А

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/125239

Title:	Исследования механизмов металл-индуцированной кристаллизации субоксида кремния с помощью просвечивающей электронной микроскопии
Other Titles:	Silicon Suboxide Metal-Induced Crystallization Mechanisms Studies by Transmission Electron Microscopy
Authors:	Batsanov, S. A. Vdovin, V. I. Gutakovskii, A. K. Zamchii, A. O. Baranov, E. A. Бацанов, С. А. Вдовин, В. И. Гутаковский, А. К. Замчий, А. О. Баранов, Е. А
Issue Date:	2022
Publisher:	УрФУ
Citation:	Исследования механизмов металл-индуцированной кристаллизации субоксида кремния с помощью просвечивающей электронной микроскопии / С. А. Бацанов, В. И. Вдовин, А. К. Гутаковский, А. О. Замчий, Е. А. Баранов. — Текст: электронный // Физика. Технологии. Инновации. ФТИ-2022 : тезисы докладов IX Международной молодежной научной конференции, посвященной 100-летию со дня рождения профессора С. П. Распопина, Екатеринбург, 16-20 мая 2022 г. — Екатеринбург: УрФУ, 2022. — С. 139-140. — URL: http://elar.urfu.ru/handle/10995/125239.
Abstract:	High-resolution transmission electron microscopy was used to study system: substrate/Al (or Au) film/a-SiOx (x = 1.8 for Al and 0.3 for Au) film before and after annealing. The polycrystalline silicon formation mechanisms based on metal-induced crystallization using these two metals are proposed.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/125239
Conference name:	IX Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященная 100-летию со дня рождения профессора С. П. Распопина ФТИ-2022
Conference date:	16.05.2022-20.05.2022
metadata.dc.description.sponsorship:	Работа выполнена при поддержке РНФ (грант № 19-79-10143) с использованием оборудования ЦКП «Наноструктуры».
RSCF project card:	19-79-10143
Origin:	Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2022). — Екатеринбург, 2022
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
fti_2022_9_042.pdf		308,55 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar