ISSN: 2310-757X
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/125239Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Batsanov, S. A. | en |
| dc.contributor.author | Vdovin, V. I. | en |
| dc.contributor.author | Gutakovskii, A. K. | en |
| dc.contributor.author | Zamchii, A. O. | en |
| dc.contributor.author | Baranov, E. A. | en |
| dc.contributor.author | Бацанов, С. А. | ru |
| dc.contributor.author | Вдовин, В. И. | ru |
| dc.contributor.author | Гутаковский, А. К. | ru |
| dc.contributor.author | Замчий, А. О. | ru |
| dc.contributor.author | Баранов, Е. А | ru |
| dc.date.accessioned | 2023-08-31T10:01:50Z | - |
| dc.date.available | 2023-08-31T10:01:50Z | - |
| dc.date.issued | 2022 | - |
| dc.identifier.citation | Исследования механизмов металл-индуцированной кристаллизации субоксида кремния с помощью просвечивающей электронной микроскопии / С. А. Бацанов, В. И. Вдовин, А. К. Гутаковский, А. О. Замчий, Е. А. Баранов. — Текст: электронный // Физика. Технологии. Инновации. ФТИ-2022 : тезисы докладов IX Международной молодежной научной конференции, посвященной 100-летию со дня рождения профессора С. П. Распопина, Екатеринбург, 16-20 мая 2022 г. — Екатеринбург: УрФУ, 2022. — С. 139-140. — URL: http://elar.urfu.ru/handle/10995/125239. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elar.urfu.ru/handle/10995/125239 | - |
| dc.description.abstract | High-resolution transmission electron microscopy was used to study system: substrate/Al (or Au) film/a-SiOx (x = 1.8 for Al and 0.3 for Au) film before and after annealing. The polycrystalline silicon formation mechanisms based on metal-induced crystallization using these two metals are proposed. | en |
| dc.description.sponsorship | Работа выполнена при поддержке РНФ (грант № 19-79-10143) с использованием оборудования ЦКП «Наноструктуры». | ru |
| dc.format.mimetype | application/pdf | en |
| dc.language.iso | ru | - |
| dc.publisher | УрФУ | ru |
| dc.relation | info:eu-repo/grantAgreement/RSF//19-79-10143 | en |
| dc.relation.ispartof | Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2022). — Екатеринбург, 2022 | ru |
| dc.title | Исследования механизмов металл-индуцированной кристаллизации субоксида кремния с помощью просвечивающей электронной микроскопии | ru |
| dc.title.alternative | Silicon Suboxide Metal-Induced Crystallization Mechanisms Studies by Transmission Electron Microscopy | en |
| dc.type | Conference Paper | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/conferenceObject | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/submittedVersion | en |
| dc.conference.name | IX Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященная 100-летию со дня рождения профессора С. П. Распопина | ru |
| dc.conference.name | ФТИ-2022 | ru |
| dc.conference.date | 16.05.2022-20.05.2022 | - |
| local.description.firstpage | 139 | - |
| local.description.lastpage | 140 | - |
| local.fund.rsf | 19-79-10143 | - |
| local.contributor | Бацанов, С. А. | ru |
| local.contributor | Вдовин, В. И. | ru |
| local.contributor | Гутаковский, А. К. | ru |
| local.contributor | Замчий, А. О. | ru |
| local.contributor | Баранов, Е. А | ru |
| Располагается в коллекциях: | Конференции, семинары | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| fti_2022_9_042.pdf | 308,55 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.