Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/125239
Название: Исследования механизмов металл-индуцированной кристаллизации субоксида кремния с помощью просвечивающей электронной микроскопии
Другие названия: Silicon Suboxide Metal-Induced Crystallization Mechanisms Studies by Transmission Electron Microscopy
Авторы: Batsanov, S. A.
Vdovin, V. I.
Gutakovskii, A. K.
Zamchii, A. O.
Baranov, E. A.
Бацанов, С. А.
Вдовин, В. И.
Гутаковский, А. К.
Замчий, А. О.
Баранов, Е. А
Дата публикации: 2022
Издатель: УрФУ
Библиографическое описание: Исследования механизмов металл-индуцированной кристаллизации субоксида кремния с помощью просвечивающей электронной микроскопии / С. А. Бацанов, В. И. Вдовин, А. К. Гутаковский, А. О. Замчий, Е. А. Баранов. — Текст: электронный // Физика. Технологии. Инновации. ФТИ-2022 : тезисы докладов IX Международной молодежной научной конференции, посвященной 100-летию со дня рождения профессора С. П. Распопина, Екатеринбург, 16-20 мая 2022 г. — Екатеринбург: УрФУ, 2022. — С. 139-140. — URL: http://elar.urfu.ru/handle/10995/125239.
Аннотация: High-resolution transmission electron microscopy was used to study system: substrate/Al (or Au) film/a-SiOx (x = 1.8 for Al and 0.3 for Au) film before and after annealing. The polycrystalline silicon formation mechanisms based on metal-induced crystallization using these two metals are proposed.
URI: http://elar.urfu.ru/handle/10995/125239
Конференция/семинар: IX Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященная 100-летию со дня рождения профессора С. П. Распопина
ФТИ-2022
Дата конференции/семинара: 16.05.2022-20.05.2022
Сведения о поддержке: Работа выполнена при поддержке РНФ (грант № 19-79-10143) с использованием оборудования ЦКП «Наноструктуры».
Карточка проекта РНФ: 19-79-10143
Источники: Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2022). — Екатеринбург, 2022
Располагается в коллекциях:Конференции, семинары

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
fti_2022_9_042.pdf308,55 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.