Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/125239
Название: | Исследования механизмов металл-индуцированной кристаллизации субоксида кремния с помощью просвечивающей электронной микроскопии |
Другие названия: | Silicon Suboxide Metal-Induced Crystallization Mechanisms Studies by Transmission Electron Microscopy |
Авторы: | Batsanov, S. A. Vdovin, V. I. Gutakovskii, A. K. Zamchii, A. O. Baranov, E. A. Бацанов, С. А. Вдовин, В. И. Гутаковский, А. К. Замчий, А. О. Баранов, Е. А |
Дата публикации: | 2022 |
Издатель: | УрФУ |
Библиографическое описание: | Исследования механизмов металл-индуцированной кристаллизации субоксида кремния с помощью просвечивающей электронной микроскопии / С. А. Бацанов, В. И. Вдовин, А. К. Гутаковский, А. О. Замчий, Е. А. Баранов. — Текст: электронный // Физика. Технологии. Инновации. ФТИ-2022 : тезисы докладов IX Международной молодежной научной конференции, посвященной 100-летию со дня рождения профессора С. П. Распопина, Екатеринбург, 16-20 мая 2022 г. — Екатеринбург: УрФУ, 2022. — С. 139-140. — URL: http://elar.urfu.ru/handle/10995/125239. |
Аннотация: | High-resolution transmission electron microscopy was used to study system: substrate/Al (or Au) film/a-SiOx (x = 1.8 for Al and 0.3 for Au) film before and after annealing. The polycrystalline silicon formation mechanisms based on metal-induced crystallization using these two metals are proposed. |
URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/125239 |
Конференция/семинар: | IX Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященная 100-летию со дня рождения профессора С. П. Распопина ФТИ-2022 |
Дата конференции/семинара: | 16.05.2022-20.05.2022 |
Сведения о поддержке: | Работа выполнена при поддержке РНФ (грант № 19-79-10143) с использованием оборудования ЦКП «Наноструктуры». |
Карточка проекта РНФ: | 19-79-10143 |
Источники: | Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2022). — Екатеринбург, 2022 |
Располагается в коллекциях: | Конференции, семинары |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
fti_2022_9_042.pdf | 308,55 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.