Термодинамический анализ процесса газофазного синтеза кремния

Kudyakova, V. S.; Shishkin, R. A.; Кудякова, В. С.; Шишкин, Р. А.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/125045

Title:	Термодинамический анализ процесса газофазного синтеза кремния
Other Titles:	Thermodynamic Analysis of the Silicon Gas-Phase Synthesis Process
Authors:	Kudyakova, V. S. Shishkin, R. A. Кудякова, В. С. Шишкин, Р. А.
Issue Date:	2022
Publisher:	УрФУ
Citation:	Кудякова В. С. Термодинамический анализ процесса газофазного синтеза кремния / В. С. Кудякова, Р. А. Шишкин. — Текст: электронный // Физика. Технологии. Инновации. ФТИ-2022 : тезисы докладов IX Международной молодежной научной конференции, посвященной 100-летию со дня рождения профессора С. П. Распопина, Екатеринбург, 16-20 мая 2022 г. — Екатеринбург: УрФУ, 2022. — С. 554-555. — URL: http://elar.urfu.ru/handle/10995/125045.
Abstract:	The thermodynamic analysis of silicon synthesis in transport reaction with aluminum fluorides was performed by HSC Chemistry program. A mechanism for the process of silicon formation, which consists of 4 stages, is proposed.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/125045
Conference name:	IX Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященная 100-летию со дня рождения профессора С. П. Распопина ФТИ-2022
Conference date:	16.05.2022-20.05.2022
Sponsorship:	Работа выполнена при поддержке совета по грантам Президента Российской Федерации (проект № МК-182.2022.1.3).
Origin:	Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2022). — Екатеринбург, 2022
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
fti_2022_9_245.pdf		308,25 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record