Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/125045
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorKudyakova, V. S.en
dc.contributor.authorShishkin, R. A.en
dc.contributor.authorКудякова, В. С.ru
dc.contributor.authorШишкин, Р. А.ru
dc.date.accessioned2023-08-31T10:01:24Z-
dc.date.available2023-08-31T10:01:24Z-
dc.date.issued2022-
dc.identifier.citationКудякова В. С. Термодинамический анализ процесса газофазного синтеза кремния / В. С. Кудякова, Р. А. Шишкин. — Текст: электронный // Физика. Технологии. Инновации. ФТИ-2022 : тезисы докладов IX Международной молодежной научной конференции, посвященной 100-летию со дня рождения профессора С. П. Распопина, Екатеринбург, 16-20 мая 2022 г. — Екатеринбург: УрФУ, 2022. — С. 554-555. — URL: http://elar.urfu.ru/handle/10995/125045.ru
dc.identifier.urihttp://elar.urfu.ru/handle/10995/125045-
dc.description.abstractThe thermodynamic analysis of silicon synthesis in transport reaction with aluminum fluorides was performed by HSC Chemistry program. A mechanism for the process of silicon formation, which consists of 4 stages, is proposed.en
dc.description.sponsorshipРабота выполнена при поддержке совета по грантам Президента Российской Федерации (проект № МК-182.2022.1.3).ru
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.language.isoru-
dc.publisherУрФУru
dc.relation.ispartofФизика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2022). — Екатеринбург, 2022ru
dc.titleТермодинамический анализ процесса газофазного синтеза кремнияru
dc.title.alternativeThermodynamic Analysis of the Silicon Gas-Phase Synthesis Processen
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferenceObjecten
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/submittedVersionen
dc.conference.nameIX Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященная 100-летию со дня рождения профессора С. П. Распопинаru
dc.conference.nameФТИ-2022ru
dc.conference.date16.05.2022-20.05.2022-
local.contributor.employeeКудякова, В. С.ru
local.contributor.employeeШишкин, Р. А.ru
local.description.firstpage554-
local.description.lastpage555-
Располагается в коллекциях:Конференции, семинары

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
fti_2022_9_245.pdf308,25 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.