Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/125045
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Kudyakova, V. S. | en |
dc.contributor.author | Shishkin, R. A. | en |
dc.contributor.author | Кудякова, В. С. | ru |
dc.contributor.author | Шишкин, Р. А. | ru |
dc.date.accessioned | 2023-08-31T10:01:24Z | - |
dc.date.available | 2023-08-31T10:01:24Z | - |
dc.date.issued | 2022 | - |
dc.identifier.citation | Кудякова В. С. Термодинамический анализ процесса газофазного синтеза кремния / В. С. Кудякова, Р. А. Шишкин. — Текст: электронный // Физика. Технологии. Инновации. ФТИ-2022 : тезисы докладов IX Международной молодежной научной конференции, посвященной 100-летию со дня рождения профессора С. П. Распопина, Екатеринбург, 16-20 мая 2022 г. — Екатеринбург: УрФУ, 2022. — С. 554-555. — URL: http://elar.urfu.ru/handle/10995/125045. | ru |
dc.identifier.uri | http://elar.urfu.ru/handle/10995/125045 | - |
dc.description.abstract | The thermodynamic analysis of silicon synthesis in transport reaction with aluminum fluorides was performed by HSC Chemistry program. A mechanism for the process of silicon formation, which consists of 4 stages, is proposed. | en |
dc.description.sponsorship | Работа выполнена при поддержке совета по грантам Президента Российской Федерации (проект № МК-182.2022.1.3). | ru |
dc.format.mimetype | application/pdf | en |
dc.language.iso | ru | - |
dc.publisher | УрФУ | ru |
dc.relation.ispartof | Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2022). — Екатеринбург, 2022 | ru |
dc.title | Термодинамический анализ процесса газофазного синтеза кремния | ru |
dc.title.alternative | Thermodynamic Analysis of the Silicon Gas-Phase Synthesis Process | en |
dc.type | Conference Paper | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/conferenceObject | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/submittedVersion | en |
dc.conference.name | IX Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященная 100-летию со дня рождения профессора С. П. Распопина | ru |
dc.conference.name | ФТИ-2022 | ru |
dc.conference.date | 16.05.2022-20.05.2022 | - |
local.contributor.employee | Кудякова, В. С. | ru |
local.contributor.employee | Шишкин, Р. А. | ru |
local.description.firstpage | 554 | - |
local.description.lastpage | 555 | - |
Располагается в коллекциях: | Конференции, семинары |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
fti_2022_9_245.pdf | 308,25 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.