Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/125045
Название: | Термодинамический анализ процесса газофазного синтеза кремния |
Другие названия: | Thermodynamic Analysis of the Silicon Gas-Phase Synthesis Process |
Авторы: | Kudyakova, V. S. Shishkin, R. A. Кудякова, В. С. Шишкин, Р. А. |
Дата публикации: | 2022 |
Издатель: | УрФУ |
Библиографическое описание: | Кудякова В. С. Термодинамический анализ процесса газофазного синтеза кремния / В. С. Кудякова, Р. А. Шишкин. — Текст: электронный // Физика. Технологии. Инновации. ФТИ-2022 : тезисы докладов IX Международной молодежной научной конференции, посвященной 100-летию со дня рождения профессора С. П. Распопина, Екатеринбург, 16-20 мая 2022 г. — Екатеринбург: УрФУ, 2022. — С. 554-555. — URL: http://elar.urfu.ru/handle/10995/125045. |
Аннотация: | The thermodynamic analysis of silicon synthesis in transport reaction with aluminum fluorides was performed by HSC Chemistry program. A mechanism for the process of silicon formation, which consists of 4 stages, is proposed. |
URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/125045 |
Конференция/семинар: | IX Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященная 100-летию со дня рождения профессора С. П. Распопина ФТИ-2022 |
Дата конференции/семинара: | 16.05.2022-20.05.2022 |
Сведения о поддержке: | Работа выполнена при поддержке совета по грантам Президента Российской Федерации (проект № МК-182.2022.1.3). |
Источники: | Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2022). — Екатеринбург, 2022 |
Располагается в коллекциях: | Конференции, семинары |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
fti_2022_9_245.pdf | 308,25 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.