Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/125045
Название: Термодинамический анализ процесса газофазного синтеза кремния
Другие названия: Thermodynamic Analysis of the Silicon Gas-Phase Synthesis Process
Авторы: Kudyakova, V. S.
Shishkin, R. A.
Кудякова, В. С.
Шишкин, Р. А.
Дата публикации: 2022
Издатель: УрФУ
Библиографическое описание: Кудякова В. С. Термодинамический анализ процесса газофазного синтеза кремния / В. С. Кудякова, Р. А. Шишкин. — Текст: электронный // Физика. Технологии. Инновации. ФТИ-2022 : тезисы докладов IX Международной молодежной научной конференции, посвященной 100-летию со дня рождения профессора С. П. Распопина, Екатеринбург, 16-20 мая 2022 г. — Екатеринбург: УрФУ, 2022. — С. 554-555. — URL: http://elar.urfu.ru/handle/10995/125045.
Аннотация: The thermodynamic analysis of silicon synthesis in transport reaction with aluminum fluorides was performed by HSC Chemistry program. A mechanism for the process of silicon formation, which consists of 4 stages, is proposed.
URI: http://elar.urfu.ru/handle/10995/125045
Конференция/семинар: IX Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации», посвященная 100-летию со дня рождения профессора С. П. Распопина
ФТИ-2022
Дата конференции/семинара: 16.05.2022-20.05.2022
Сведения о поддержке: Работа выполнена при поддержке совета по грантам Президента Российской Федерации (проект № МК-182.2022.1.3).
Источники: Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2022). — Екатеринбург, 2022
Располагается в коллекциях:Конференции, семинары

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
fti_2022_9_245.pdf308,25 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.