ВЛИЯНИЕ ФОТОННОЙ ОБРАБОТКИ НА СТРУКТУРУ ПЛЕНОК ОКСИДА НИОБИЯ

Сериков, Д. В.; Габриельс, К. С.; Дыбов, В. А.; Макагонов, В. А.; Половинкин, А. А.; Serikov, D.; Gabriels, K.; Dybov, V.; Makagonov, V.; Polovinkin, A.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/123880

Title:	ВЛИЯНИЕ ФОТОННОЙ ОБРАБОТКИ НА СТРУКТУРУ ПЛЕНОК ОКСИДА НИОБИЯ
Other Titles:	EFFECT OF PHOTON TREATMENT ON STRUCTURE OF NIOBIUM OXIDE FILMS
Authors:	Сериков, Д. В. Габриельс, К. С. Дыбов, В. А. Макагонов, В. А. Половинкин, А. А. Serikov, D. Gabriels, K. Dybov, V. Makagonov, V. Polovinkin, A.
Issue Date:	2021
Publisher:	УрФУ
Citation:	ВЛИЯНИЕ ФОТОННОЙ ОБРАБОТКИ НА СТРУКТУРУ ПЛЕНОК ОКСИДА НИОБИЯ / Д. В. Сериков, К. С. Габриельс, В. А. Дыбов, В. А. Макагонов, А. А. Половинкин // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов VIII Международной молодежной научной конференции (Екатеринбург, 17–21 мая 2021 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2021. — C. 294-296.
Abstract:	In this work, we investigate changes in the phase composition, morphology, and structural changes during the photonic treatment of films obtained in the process of ion-beam sputtering of an Nb2O5 target. It was found that the initial films have an amorphous structure; at an irradiation energy of ~ 1.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/123880
Conference name:	VIII Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации»
Conference date:	17.05.2021-21.05.2021
ISBN:	978-5-8295-0769-5
Sponsorship:	Работа была выполнена при поддержке государственного задания (N FZGM-2020-0007).
Origin:	Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2021)
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
978-5-8295-0769-5_2021_138.pdf		502,53 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record