Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/123880
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorСериков, Д. В.ru
dc.contributor.authorГабриельс, К. С.ru
dc.contributor.authorДыбов, В. А.ru
dc.contributor.authorМакагонов, В. А.ru
dc.contributor.authorПоловинкин, А. А.ru
dc.contributor.authorSerikov, D.en
dc.contributor.authorGabriels, K.en
dc.contributor.authorDybov, V.en
dc.contributor.authorMakagonov, V.en
dc.contributor.authorPolovinkin, A.en
dc.date.accessioned2023-08-28T09:15:55Z-
dc.date.available2023-08-28T09:15:55Z-
dc.date.issued2021-
dc.identifier.citationВЛИЯНИЕ ФОТОННОЙ ОБРАБОТКИ НА СТРУКТУРУ ПЛЕНОК ОКСИДА НИОБИЯ / Д. В. Сериков, К. С. Габриельс, В. А. Дыбов, В. А. Макагонов, А. А. Половинкин // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов VIII Международной молодежной научной конференции (Екатеринбург, 17–21 мая 2021 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2021. — C. 294-296.ru
dc.identifier.isbn978-5-8295-0769-5
dc.identifier.urihttp://elar.urfu.ru/handle/10995/123880-
dc.description.abstractIn this work, we investigate changes in the phase composition, morphology, and structural changes during the photonic treatment of films obtained in the process of ion-beam sputtering of an Nb2O5 target. It was found that the initial films have an amorphous structure; at an irradiation energy of ~ 1.en
dc.description.sponsorshipРабота была выполнена при поддержке государственного задания (N FZGM-2020-0007).ru
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.language.isoru
dc.publisherУрФУ
dc.relation.ispartofФизика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2021)
dc.titleВЛИЯНИЕ ФОТОННОЙ ОБРАБОТКИ НА СТРУКТУРУ ПЛЕНОК ОКСИДА НИОБИЯru
dc.title.alternativeEFFECT OF PHOTON TREATMENT ON STRUCTURE OF NIOBIUM OXIDE FILMSen
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferenceObjecten
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/submittedVersionen
dc.conference.nameVIII Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации»
dc.conference.date17.05.2021-21.05.2021
local.description.firstpage294
local.description.lastpage296
Располагается в коллекциях:Конференции, семинары

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
978-5-8295-0769-5_2021_138.pdf502,53 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.