АТТЕСТАЦИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПЛЕНОК, ПОЛУЧАЕМЫХ МЕТОДОМ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО НАПЫЛЕНИЯ

Михалицына, Е. А.; Коновцева, О. А.; Катаев, В. А.; Лепаловский, В. Н.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/113524

Title:	АТТЕСТАЦИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПЛЕНОК, ПОЛУЧАЕМЫХ МЕТОДОМ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО НАПЫЛЕНИЯ
Authors:	Михалицына, Е. А. Коновцева, О. А. Катаев, В. А. Лепаловский, В. Н.
Issue Date:	2016
Publisher:	Издательство Уральского университета
Citation:	АТТЕСТАЦИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПЛЕНОК, ПОЛУЧАЕМЫХ МЕТОДОМ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО НАПЫЛЕНИЯ / Е. А. Михалицына, О. А. Коновцева, В. А. Катаев, В. Н. Лепаловский // Проблемы теоретической и экспериментальной химии : тезисы докладов XXVI Российской молодежной научной конференции, посвященной 120-летию со дня рождения академика Н. Н. Семенова (Екатеринбург, 27-29 апреля 2016 г.). — Екатеринбург : Издательство Уральского университета, 2016. — C. 338-339.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/113524
Conference name:	XXVI Российская молодежная научная конференция «Проблемы теоретической и экспериментальной химии»
Conference date:	27.04.2016-29.04.2016
ISBN:	978-5-7996-1744-8
Origin:	XXVI Российская молодежная научная конференция «Проблемы теоретической и экспериментальной химии».— Екатеринбург, 2016
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
978-5-7996-1744-8_2016_245.pdf		373,88 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar