АТТЕСТАЦИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПЛЕНОК, ПОЛУЧАЕМЫХ МЕТОДОМ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО НАПЫЛЕНИЯ

Михалицына, Е. А.; Коновцева, О. А.; Катаев, В. А.; Лепаловский, В. Н.

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/113524

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Михалицына, Е. А.	ru
dc.contributor.author	Коновцева, О. А.	ru
dc.contributor.author	Катаев, В. А.	ru
dc.contributor.author	Лепаловский, В. Н.	ru
dc.date.accessioned	2022-05-25T11:22:29Z	-
dc.date.available	2022-05-25T11:22:29Z	-
dc.date.issued	2016	-
dc.identifier.citation	АТТЕСТАЦИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПЛЕНОК, ПОЛУЧАЕМЫХ МЕТОДОМ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО НАПЫЛЕНИЯ / Е. А. Михалицына, О. А. Коновцева, В. А. Катаев, В. Н. Лепаловский // Проблемы теоретической и экспериментальной химии : тезисы докладов XXVI Российской молодежной научной конференции, посвященной 120-летию со дня рождения академика Н. Н. Семенова (Екатеринбург, 27-29 апреля 2016 г.). — Екатеринбург : Издательство Уральского университета, 2016. — C. 338-339.	ru
dc.identifier.isbn	978-5-7996-1744-8	-
dc.identifier.uri	http://elar.urfu.ru/handle/10995/113524	-
dc.format.mimetype	application/pdf	en
dc.language.iso	ru	en
dc.publisher	Издательство Уральского университета	ru
dc.relation.ispartof	XXVI Российская молодежная научная конференция «Проблемы теоретической и экспериментальной химии».— Екатеринбург, 2016	ru
dc.title	АТТЕСТАЦИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПЛЕНОК, ПОЛУЧАЕМЫХ МЕТОДОМ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО НАПЫЛЕНИЯ	ru
dc.type	Conference Paper	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/conferenceObject	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion	en
dc.conference.name	XXVI Российская молодежная научная конференция «Проблемы теоретической и экспериментальной химии»	ru
dc.conference.date	27.04.2016-29.04.2016	-
local.description.firstpage	338	-
local.description.lastpage	339	-
Располагается в коллекциях:	Конференции, семинары

Файлы этого ресурса:

Файл	Описание	Размер	Формат
978-5-7996-1744-8_2016_245.pdf		373,88 kB	Adobe PDF	Просмотреть/Открыть

Показать базовое описание ресурса Статистика

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.