Разработка локальной поверочной схемы для установки измерения УЭС и УСЭС

Мехонцева, Г. И.; Гонтарь, Л. А.; Терентьев, Г. И.; Mekhontseva, G. I.; Gontar, L. A.; Terentyev, G. I.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/109754

Title:	Разработка локальной поверочной схемы для установки измерения УЭС и УСЭС
Other Titles:	THE DEVELOPMENT OF A VERIFICATION SCHEME FOR MEASURE INSTALLATION SER AND SLER
Authors:	Мехонцева, Г. И. Гонтарь, Л. А. Терентьев, Г. И. Mekhontseva, G. I. Gontar, L. A. Terentyev, G. I.
Issue Date:	2018
Publisher:	Уральский федеральный университет
Citation:	Мехонцева Г. И. Разработка локальной поверочной схемы для установки измерения УЭС и УСЭС / Г. И. Мехонцева, Л. А. Гонтарь, Г. И. Терентьев // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов V Международной молодежной научной конференции, посвященной памяти Почетного профессора УрФУ В. С. Кортова (Екатеринбург, 14–18 мая 2018 г.) : Секция 2. Приборостроение и робототехника. — Екатеринбург : [УрФУ], 2018. — C. 32-33.
Abstract:	In the research and production of semiconductor, materials widely used a 4-probe method of measuring the specific electrical resistance layer. URIM has developed the apparatus for measuring the samples of silicon single crystal. In order to certify this installation it is necessary to develop local calibration scheme.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/109754
Conference name:	V Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации (ФТИ-2018)», посвященная памяти Почетного профессора УрФУ В. С. Кортова
Conference date:	14.05.2018-18.05.2018
Origin:	Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2018)
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
fti_2018_2_018.pdf		396,2 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record