Разработка локальной поверочной схемы для установки измерения УЭС и УСЭС

Мехонцева, Г. И.; Гонтарь, Л. А.; Терентьев, Г. И.; Mekhontseva, G. I.; Gontar, L. A.; Terentyev, G. I.

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://elar.urfu.ru/handle/10995/109754

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Мехонцева, Г. И.	ru
dc.contributor.author	Гонтарь, Л. А.	ru
dc.contributor.author	Терентьев, Г. И.	ru
dc.contributor.author	Mekhontseva, G. I.	en
dc.contributor.author	Gontar, L. A.	en
dc.contributor.author	Terentyev, G. I.	en
dc.date.accessioned	2022-04-06T10:48:59Z	-
dc.date.available	2022-04-06T10:48:59Z	-
dc.date.issued	2018	-
dc.identifier.citation	Мехонцева Г. И. Разработка локальной поверочной схемы для установки измерения УЭС и УСЭС / Г. И. Мехонцева, Л. А. Гонтарь, Г. И. Терентьев // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов V Международной молодежной научной конференции, посвященной памяти Почетного профессора УрФУ В. С. Кортова (Екатеринбург, 14–18 мая 2018 г.) : Секция 2. Приборостроение и робототехника. — Екатеринбург : [УрФУ], 2018. — C. 32-33.	ru
dc.identifier.uri	http://elar.urfu.ru/handle/10995/109754	-
dc.description.abstract	In the research and production of semiconductor, materials widely used a 4-probe method of measuring the specific electrical resistance layer. URIM has developed the apparatus for measuring the samples of silicon single crystal. In order to certify this installation it is necessary to develop local calibration scheme.	en
dc.format.mimetype	application/pdf	en
dc.language.iso	ru	en
dc.publisher	Уральский федеральный университет	ru
dc.relation.ispartof	Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2018)	ru
dc.title	Разработка локальной поверочной схемы для установки измерения УЭС и УСЭС	ru
dc.title.alternative	THE DEVELOPMENT OF A VERIFICATION SCHEME FOR MEASURE INSTALLATION SER AND SLER	en
dc.type	Conference Paper	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/conferenceObject	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion	en
dc.conference.name	V Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации (ФТИ-2018)», посвященная памяти Почетного профессора УрФУ В. С. Кортова	ru
dc.conference.date	14.05.2018-18.05.2018	-
local.description.firstpage	32	-
local.description.lastpage	33	-
Располагается в коллекциях:	Конференции, семинары

Файлы этого ресурса:

Файл	Описание	Размер	Формат
fti_2018_2_018.pdf		396,2 kB	Adobe PDF	Просмотреть/Открыть

Показать базовое описание ресурса Статистика

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.