ISSN: 2310-757X
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/109754| Название: | Разработка локальной поверочной схемы для установки измерения УЭС и УСЭС |
| Другие названия: | THE DEVELOPMENT OF A VERIFICATION SCHEME FOR MEASURE INSTALLATION SER AND SLER |
| Авторы: | Мехонцева, Г. И. Гонтарь, Л. А. Терентьев, Г. И. Mekhontseva, G. I. Gontar, L. A. Terentyev, G. I. |
| Дата публикации: | 2018 |
| Издатель: | Уральский федеральный университет |
| Библиографическое описание: | Мехонцева Г. И. Разработка локальной поверочной схемы для установки измерения УЭС и УСЭС / Г. И. Мехонцева, Л. А. Гонтарь, Г. И. Терентьев // Физика. Технологии. Инновации : тезисы докладов V Международной молодежной научной конференции, посвященной памяти Почетного профессора УрФУ В. С. Кортова (Екатеринбург, 14–18 мая 2018 г.) : Секция 2. Приборостроение и робототехника. — Екатеринбург : [УрФУ], 2018. — C. 32-33. |
| Аннотация: | In the research and production of semiconductor, materials widely used a 4-probe method of measuring the specific electrical resistance layer. URIM has developed the apparatus for measuring the samples of silicon single crystal. In order to certify this installation it is necessary to develop local calibration scheme. |
| URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/109754 |
| Конференция/семинар: | V Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации (ФТИ-2018)», посвященная памяти Почетного профессора УрФУ В. С. Кортова |
| Дата конференции/семинара: | 14.05.2018-18.05.2018 |
| Источники: | Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2018) |
| Располагается в коллекциях: | Конференции, семинары |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| fti_2018_2_018.pdf | 396,2 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.