Поведенческая модель плазменного травления на основе метода опорных векторов

Попов, А. А.; Билевич, Д. В.; Сидорюк, Т. Ю.; Сальников, А. С.; Popov, A. A.; Bilevich, D. V.; Sidoryuk, T. Y.; Salnikov, A. S.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/107854

Title:	Поведенческая модель плазменного травления на основе метода опорных векторов
Other Titles:	PLASMA ETCHING BEHAVIORAL MODEL BASED ON SUPPORT VECTOR MACHINE
Authors:	Попов, А. А. Билевич, Д. В. Сидорюк, Т. Ю. Сальников, А. С. Popov, A. A. Bilevich, D. V. Sidoryuk, T. Y. Salnikov, A. S.
Issue Date:	2017
Publisher:	УрФУ
Citation:	Поведенческая модель плазменного травления на основе метода опорных векторов / А. А. Попов, Д. В. Билевич, Т. Ю. Сидорюк, А. С. Сальников // Физика. Технологии. Инновации (Секции 3, 4, 5) : тезисы докладов IV Международной молодежной научной конференции (Екатеринбург, 15–19 мая 2017 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2017. — C. 24-26.
Abstract:	The possibility and principles of using support vector machine for modelling plasma-chemical etching process are considered.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/107854
Conference name:	IV Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации»
Conference date:	15.05.2017-19.05.2017
Origin:	Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2017). — Екатеринбург, 2017
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
fti_2017_380.pdf		483,4 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar