Поведенческая модель плазменного травления на основе метода опорных векторов

Попов, А. А.; Билевич, Д. В.; Сидорюк, Т. Ю.; Сальников, А. С.; Popov, A. A.; Bilevich, D. V.; Sidoryuk, T. Y.; Salnikov, A. S.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/107854

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Попов, А. А.	ru
dc.contributor.author	Билевич, Д. В.	ru
dc.contributor.author	Сидорюк, Т. Ю.	ru
dc.contributor.author	Сальников, А. С.	ru
dc.contributor.author	Popov, A. A.	en
dc.contributor.author	Bilevich, D. V.	en
dc.contributor.author	Sidoryuk, T. Y.	en
dc.contributor.author	Salnikov, A. S.	en
dc.date.accessioned	2022-01-26T10:45:58Z	-
dc.date.available	2022-01-26T10:45:58Z	-
dc.date.issued	2017	-
dc.identifier.citation	Поведенческая модель плазменного травления на основе метода опорных векторов / А. А. Попов, Д. В. Билевич, Т. Ю. Сидорюк, А. С. Сальников // Физика. Технологии. Инновации (Секции 3, 4, 5) : тезисы докладов IV Международной молодежной научной конференции (Екатеринбург, 15–19 мая 2017 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2017. — C. 24-26.	ru
dc.identifier.uri	http://elar.urfu.ru/handle/10995/107854	-
dc.description.abstract	The possibility and principles of using support vector machine for modelling plasma-chemical etching process are considered.	en
dc.format.mimetype	application/pdf	en
dc.language.iso	ru	en
dc.publisher	УрФУ	ru
dc.relation.ispartof	Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2017). — Екатеринбург, 2017	ru
dc.title	Поведенческая модель плазменного травления на основе метода опорных векторов	ru
dc.title.alternative	PLASMA ETCHING BEHAVIORAL MODEL BASED ON SUPPORT VECTOR MACHINE	en
dc.type	Conference Paper	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/conferenceObject	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion	en
dc.conference.name	IV Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации»	ru
dc.conference.date	15.05.2017-19.05.2017	-
local.description.firstpage	24
local.description.lastpage	26
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
fti_2017_380.pdf		483,4 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record Google Scholar