ISSN: 2310-757X
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://elar.urfu.ru/handle/10995/107854| Название: | Поведенческая модель плазменного травления на основе метода опорных векторов |
| Другие названия: | PLASMA ETCHING BEHAVIORAL MODEL BASED ON SUPPORT VECTOR MACHINE |
| Авторы: | Попов, А. А. Билевич, Д. В. Сидорюк, Т. Ю. Сальников, А. С. Popov, A. A. Bilevich, D. V. Sidoryuk, T. Y. Salnikov, A. S. |
| Дата публикации: | 2017 |
| Издатель: | УрФУ |
| Библиографическое описание: | Поведенческая модель плазменного травления на основе метода опорных векторов / А. А. Попов, Д. В. Билевич, Т. Ю. Сидорюк, А. С. Сальников // Физика. Технологии. Инновации (Секции 3, 4, 5) : тезисы докладов IV Международной молодежной научной конференции (Екатеринбург, 15–19 мая 2017 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2017. — C. 24-26. |
| Аннотация: | The possibility and principles of using support vector machine for modelling plasma-chemical etching process are considered. |
| URI: | http://elar.urfu.ru/handle/10995/107854 |
| Конференция/семинар: | IV Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации» |
| Дата конференции/семинара: | 15.05.2017-19.05.2017 |
| Источники: | Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2017). — Екатеринбург, 2017 |
| Располагается в коллекциях: | Конференции, семинары |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| fti_2017_380.pdf | 483,4 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.