Гетеродинная лазерная интрферометрия для измерений наноперемещений

Телешевский, В. И.; Скрынник, А. А.; Гришин, С. Г.; Teleshevsky, V. I.; Skrynnik, A. A.; Grishin, S. G.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elar.urfu.ru/handle/10995/107598

Title:	Гетеродинная лазерная интрферометрия для измерений наноперемещений
Other Titles:	HETEROGENEOUS LASER INTRFERROMETRY FOR MEASUREMENT OF NANOMETRATION
Authors:	Телешевский, В. И. Скрынник, А. А. Гришин, С. Г. Teleshevsky, V. I. Skrynnik, A. A. Grishin, S. G.
Issue Date:	2017
Publisher:	УрФУ
Citation:	Телешевский В. И. Гетеродинная лазерная интрферометрия для измерений наноперемещений / В. И. Телешевский, А. А. Скрынник, С. Г. Гришин // Физика. Технологии. Инновации (Секция 1) : тезисы докладов IV Международной молодежной научной конференции (Екатеринбург, 15–19 мая 2017 г.). — Екатеринбург : УрФУ, 2017. — C. 32-33.
Abstract:	The laser heterodyne interference meter is more promising for non-contact measurements and has a high sensitivity in the 10-2-10-3 nm range, expressed in fractions of the wavelength of the laser radiation, with the ability to automate the acquisition and processing of measurement information. When determining the characteristics of an acousto-optic converter, it is necessary to use means that allow measuring absolute displacements of the surface of an object in a wide measurable dynamic range of 1-100 nm.
URI:	http://elar.urfu.ru/handle/10995/107598
Conference name:	IV Международная молодежная научная конференция «Физика. Технологии. Инновации»
Conference date:	15.05.2017-19.05.2017
Origin:	Физика. Технологии. Инновации. Тезисы докладов (ФТИ-2017). — Екатеринбург, 2017
Appears in Collections:	Конференции, семинары

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
fti_2017_015.pdf		309,09 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar